“滴滴滴!”
机器发出红光警报,流片出口处打开,一片晶圆从里面吐出。
“我的天!又失败了!”操作极其的中年人很是懊恼地喊道。
另一个中年人拿起那一片晶圆,查看一番,叹气道:“华总师,晶圆失败了……”
晶圆刻蚀失败那就意味着这台光刻机试验宣告失败!
“又失败了!第12次了啊!”有人叹气道。
现在数十个科研人员听到这个消息脸上无不露出失落之色。
华富国苦笑一声,“最后一步了啊,最后一步了啊!”
“到底是哪里出了问题?”
“纪老,您觉得是什么原因?”
所有人齐刷刷看向那个满头白发的老人,纪为民,他是比华富国更早一批研究光刻机的专家,也是大夏龙科院院士,在光刻机领域拥有极深厚的基础知识,一辈子岁月都扑在光刻机研究上面,在科学界内德高望重。
他之所以到恒远科技的半导体研究院帮助华富国研发2纳米光刻机,是
。得到广省芯片协会的曹舟和邓高木介绍,当他知道这是一个2纳米制程光刻机项目的时候,毫不犹豫就答应过来帮忙。
“我先去看看。”纪为民颤颤巍巍地走到光刻机面前,仔细检查起来。
“还是激光光源问题呀!”
“193纳米的分子激光光源无法稳定运行!”