沉思良久，辛启天很是遗憾的叹息一声，“算了，不提粒子束，弦网液体这些东西。”
“我们言归正传！”
“我的看法是，直接上手EUV技术，先从光源研究。”
“光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。”
“最初光刻机，是采用汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line作为光刻光源。后来采用248nm的KrF准分子激光作为光源，将最小工艺节点提升至350-180nm水平。”
“但是，再往下其实就很难了。”
“据我了解，新技术处在一个变革的关键，事实上所谓的ASML的EUV机器，其实根本是个束之高阁的东西无，无法真正应用。”
“市场上，还没有一家企业购买过！”
“在公司内部，具体细节不清楚，但很显然有重大技术难题他们没有突破。”
“光刻机是个小市场，一年卖几十台的就算大厂了。现在半导体晶圆工厂拢共也没有多少。一台机器还能有好些年。”
“但是，投资又很巨大。资本回报率很低。在国际上，除非是战略考量，并且当做一张关键外交牌来打，否则单纯为钱，是没有企业愿意做的。”
“00年的时候，杰奔尼康在这个领域中，是绝对霸主。”
“可是在今年，ASML的市场占有率，已经达到七成！”
“ASML具体的发展思路规划，咱们并不清楚。不过，这家企业，八十年代三十几个人开始在飞利浦那边做起。”
“这么短时间，直接走上霸主地位。背后依靠的，自然就是超前一步的发展方向。”
“97年，英特尔搞了个EUVLLC合作组织。由优丝官方牵头、集合了摩托摩拉、AMD、以及优丝着名的几家实验室，劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室。”
“投资数亿元，集合数百位顶尖科学家搞理论研究。”
“AMSL也加入了这个项目中，给优丝发了一大堆誓言，比如亲爱的爸爸，你是我永远的明灯之类的。因为，除了他们，没有其他国家光刻机企业加入。”