“许董、胡总,这台光刻机是我们公司自己研制的吗?平衡和减震是怎么解决的?”郝宁也算是个内行人,围着一鸣集团公司自制的光刻机主体系统转了几圈。
他知道光刻机在工作的时候,震动量一定要非常小,否则会影响芯片的良品率。良品率一旦低于95%,这台光刻机就属于失败的试验品,只能重新设计重新改造才行。
听到这话,作为外行人的许振鸣来说真心不好回答。他朝身旁的胡明镇看了一眼,示意这老头来替自己解围。
“郝教授、各位同事,我们这台自己生产线的第三代光刻机主体系统,已经通过机床精度测试。光刻机主体系统冲锋定位的精度达到0.0001左右。按照这种精度的级别,我们这台设备不比米国佬的差。”
说话间,胡明镇特意挺起胸膛,右手指了指不远处米国佬的进口货。
自从许振鸣把李尧的空气轴承传动系统带到一鸣集团,胡明镇的团队成员再次修改光刻机的生产工艺、传动系统等主要相关传动机构。这台第三代光刻机的主体系统,配件精度提高许多,机床进度自然提高一大截。
“呃?我们在研究的光刻机主体系统,居然能跟老外的同类产品相媲美。”听完胡明镇刚才的那番话,郝宁不禁激动的连连挥手。不管怎么说,他也想早日见到国产第三光刻机的诞生,乃至向全球铺货。
因为好奇,众人在这台全国产光刻机的底座盘,转悠了好长时间才离开。
“光刻机原来就是一台照相机呀?”
“我好以为像打印机的原理,光刻机的要求居然这么严?”
大家一边观看设备,一边还讨论着。
观看了好久,众人才朝车间的里面房间走去。这个房间里就是堆放着拆下来的激光光源系统。
激光光源系统,包含激光光学仪器、激光光路系统、激光镜头系统等许多子系统。而这些系统当中,氟化氪激光发生器的体积确实不是很大,好像一个行李箱。
再说了,那台被拆开的第三代光刻机整体结构非常小,也放不下太大的激光发生器。
“米国佬的做工很精致,激光发生器的体积果然很小。”
“你们来看一看这台激光发生器的功率,只有我们第一台试验机型激光发生器功率的零头。”
“由此看来,我们要马上仿制米国佬的产品,否则会被市场所淘汰的。”