这个好点子就是许振鸣刚才想起来的，国际上许多机床公司都已经使用的方法。
用软件的方法建立机床数据模型，在计算机软件里论证好，再开始制造机床，速度快，研发成本还少了许多。国外都是用这种方法设计机床，而我们国内还没有这方面的研究，差距可想而知。
“嗯…许董的这个方法是比较好。我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里。”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是，激动的笑道。
不多时，他们来到一个恒温、无尘的试验车间。
这车间里有一个类似卧式加工中心的平台。平台上有两个安装工位的小平台，加工面非常光滑，用镜面来形容也不为过。
这座平台式的机构，就是光刻机的基础平台系统，上面将要安装两个工位。一个工位用来光刻硅晶圆片，一个工位用于检测晶圆片。
这种方式的加工方法，就叫双工光刻机，目前全球都没有这种设备。一鸣集团公司的这台KrF光刻机若是能研发成功，便是全球第一台双工位光刻机。
这事想想都让人激动，但实现起来难度非常大！
光刻机的基础平台对准精度特别高，要求做到0.003-0.01微米，全球有几家企业能做到？
是以，不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统，每一个备件都加工件，精度要求都非常高。
许振鸣把李尧喊来，就是让他参与改进主传动机构的改进工作，把空气轴承应用到光刻机的平台里。
“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗？”听完许振鸣的介绍，李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机，但不知道光刻机的精度要求会如此之高。
0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念？用肉眼根本看出来有偏差，只能通过激光定位系统来测量误差。
而这种精度的测距仪器，国内目光好像还没有，只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用。即便长弓集团公司这样的重点单位也没有，只能从一鸣集团公司来订购。
所以说，李尧根本没听说过，也没见过这种高精度的测量仪器。他满腹狐疑的看着许振鸣，心中暗道：“我们集团公司能做出这种精度的设备么？”
许振鸣好像能看懂李尧的内心想法。
“李尧，你不用管其他的问题，只要把空气轴承给我提供过来就行。光刻机的基座平台对震动量要求特别高，我们已经采用液压油系统来减震，跟流体轴承的原理非常相似。”
许振鸣朝李尧一挥手，让他不要把注意力放在其他地方。
他告诉李尧不要小看这种平台机构。通过液压油和空气室的缓冲机构，已经把平台运动时的震动量减少到最低限度。